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晶圓級光學薄膜製程

 

什麼是晶圓級光學薄膜(On chip Multi-film OCMF)?
晶圓級光學薄膜製程可以篩選進入感測器的光波段。一般的感測器允許所有波長的光通過(包括紫外線,可見光,近紅外光)。VisEra可以提供蒸鍍式或是濺鍍式物理學氣相沉積法(Physical Vapor Deposition Process, PVD),形成多層薄膜並選擇性地使光波段進入感測器。例如,阻隔紅外波段的紅外截止濾光膜製程可以應用於環境光感測器。VisEra 是一家以半導體製程製造光學鍍膜的代工廠,在製程的精準度、品質控制以及非預期性的微粒控制上更具有優勢。

 

采鈺光學薄膜解決方案

VisEra提供一站式晶圓級光學薄膜解決方案,於光學組裝、薄化元件高度和成本效益方面均具優勢。依照客戶需求,提供多種光學技術於同一晶圓以支援多功能設計,並能夠整合有機製程(例如:彩色濾光膜製程和微透鏡製程)及無機製程(即光學薄膜製程)。

 

光學薄膜技術 市場產品應用
紅外光截止濾光片 (IR Cut) 光感測器
光學指紋感測器
影像感測器
抗反射薄膜 (AR) 車用感測器
近紅外光窄帶濾光薄膜 飛時測距感測器(ToF)
光達 (LiDAR)
近紅外光感測器
帶通濾光片 車用感測器
生醫感測器
特殊玻璃/晶圓薄膜 其他應用
配合客戶客製化設計及需求